在电动车和再生能源应用需求的驱动下，功率半导体组件市场呈现快速成长的趋势，而随着功率半导体的材料发展，车用电子验证规范也制定新的标准，ECPE AQG 324也因此成为进入车用电子市场的重要门票。蔚华瞄准市场商机，引进艾默生/NI的功率半导体可靠度测试设备，为九峰山实验室建置功率半导体动态可靠度验证服务能量，就近服务在地客户需求，为中国功率半导体芯片技术发展提供助力。

蔚华科技执行长杨燿州表示，功率半导体的应用市场庞大，位于半导体生产制造重心，中国市场需求非常可观。NI的SET设备，拥有DGS/动态HTGB、动态H3TRB/DRB、IOL与功率循环三大测试系统，可协助九峰山实验室依照客户需求提供验证服务。

九峰山实验室表示："我们以提供先进工艺和检测服务为宗旨，本次与蔚华合作引进SET动态DGS、H3TRB/DRB测试系统，并由艾默生/NI提供技术支持，将可为行业提供先进的前期动态可靠性验证，以具弹性的电压、电流测试范围与低偏差值，搭配自动化测试程序与安全机制，可满足客户多项车规验证需求，协助国内的车用电子技术发展。"

关于蔚华科技

蔚华科技（股票代码：3055）是大中华地区测试、封装、检测、验证的专业品牌，为半导体与电子制造产业提供高质量、高可靠度的设备与服务，旗下自有品牌设备与经销代理品牌横跨封测、光学、激光与材料检测多领域，致力于提供前瞻技术与高附加价值服务。蔚华科技成立于1987年，总部设于新竹，并于上海、苏州与深圳设有营运与服务据点，更多信息请参阅www.spirox.com。

关于NI （现为艾默生旗下一员）

恩艾（NI）正在改变工程师和科学家构建测试、控制和嵌入式设计应用系统的方式。透过使用艾默生/NI的图形化程序软件和模块化硬件平台，半导体设备的设计者和制造商可以在验证实验室和生产车间中提升测试质量和效率，从而缩短上市时间、提高生产力，并显著降低测试成本。更多信息请浏览公司官网www.ni.com。

关于九峰山实验室

九峰山实验室于2021年由湖北省人民政府正式批复组建，以建设先进的化合物半导体研发和创新中心为愿景。成立以来，实验室已在中国光谷建立起全球领先的化合物半导体科研及中试平台，包括完备的材料体系、含7条工艺线的量产级研发流片平台、能力全面的先进检测分析平台。2025年，九峰山实验室化合物半导体中试平台获评首批国家级制造业中试平台。更多信息请浏览www.jfslab.com.cn。

TSV技术以其高密度、低延迟的垂直互连能力，成为3D IC、堆叠式内存（如 HBM、WoW）、高性能运算（HPC）与AI芯片的核心基础。随着内存市场需求持续增强， TSV孔径已从主流5µm，向更小孔径（如3µm）发展，使得非破坏性检测TSV单孔的孔深、孔壁缺陷及孔内残留物愈来愈困难，成为当前TSV制程良率再提升的主要瓶颈。

因直接影响刻蚀、填孔、电性可靠度与后段封装等多个关键步骤，TSV的孔深信息至关重要。现今业界多采用OCT等光学干涉的方式进行量测，前期建模工作耗时近两个月，且仅能取得多孔的平均孔深讯息，无法针对单孔进行孔深量测。蔚华科技的SP8000S双光路模块，透过SpiroxLTS^®技术，则仅需十余分钟即可完成一片12吋硅片上的9区TSV孔深量测，并提供每个被量测TSV单孔孔深讯息，对客户有极大帮助。此外，SP8000S也能进一步针对孔内残留物与孔壁缺陷进行实时的非破坏检测，可确保关键质量的稳定性，从而提升良率。

蔚华科技执行长杨燿州表示：“我们很高兴SpiroxLTS^®能协助客户解决TSV进阶制程上遇到的问题，让客户能在研发与制程阶段迅速掌握TSV质量。SpiroxLTS^®技术独特的非破坏性检测能力，可成为满足业界先进制程的检测需求的最佳利器，协助客户在各阶段制程实时掌握质量并降低成本。目前SP8000S已得到晶圆厂客户肯定，完成验证并下单，相信未来能获得业界更多客户采用，对公司带来实质贡献。”

关于蔚华科技

蔚华科技（股票代码：3055）是大中华地区测试、封装、检测、验证的专业品牌，为半导体与电子制造产业提供高质量、高可靠度的设备与服务，旗下自有品牌设备与经销代理品牌横跨封测、光学、激光与材料检测多领域，致力于提供前瞻技术与高附加价值服务。蔚华科技成立于1987年，总部设于新竹，并于上海、苏州与深圳设有营运与服务据点，更多信息请参阅www.spirox.com。

随着高速运算、高频通讯、AI加速器及高效能服务器等应用快速推进，TGV技术成为先进封装关键工艺，具备低介电常数、优异热稳定性及高密度I/O整合能力，应用于玻璃芯（Glass Core）与2.5D/3D中介层（Interposer）等高阶封装结构，产业应用热度居高不下，发展潜力庞大，但TGV前段制程中的激光改质质量长期无法实时掌握，成为良率与成本控制的挑战，尤其是改变不同高低价位的玻璃材质时。

TGV业界知名激光改质设备公司海纳光电总经理江朝宗表示：“我们非常欣赏与肯定蔚华科技所推出的业界首创激光断层扫描检测设备SP8000G，让我们能在不破坏玻璃衬底下直接看到激光改质真实分布状况，这对于我们提升激光改质机性能与质量产生极大帮助。”海纳光电长期致力于TGV激光制程材料与工艺开发，对SpiroxLTS技术高度肯定，相信此技术将为激光制程数据化、可视化奠定基础，并为材料研发与制程调校提供精准平台。海纳光电与蔚华科技的技术互补，展现整合开发与量产应用高度潜力。

SpiroxLTS让玻璃内部激光改质层可视化，对开发高质量Glass Core产品极为关键。过去在材料开发与制程优化阶段，需仰赖破坏性方式才能间接推估改质状态，如今可直接取得非破坏性数据，将大幅缩短开发时程并提升改质均匀性掌控能力。目前为业界极少数符合AI需求之高质量TGV 玻璃芯衬底供货商之一，晶呈科技股份有限公司表示：“玻璃内部激光改质层可视化，可凸显晶呈科技玻璃钻孔之真圆、准直、孔壁平坦度之优异特性，对于玻璃芯衬底量产化及良率提升肯定有帮助。”

根据TGV业界封装衬底金属化与增层制程的多家主力厂商表示，TGV金属化与后段增层对孔径结构与改质质量要求极高，过去信息取得困难，常导致后段制程挑战。经过实测验证，SpiroxLTS非破坏性检测技术可让业界在材料与制程验证阶段即导入质量筛选机制，对实现高阶封装TGV衬底的稳定量产，具有关键意义。

蔚华科技总经理杨燿州表示：“很荣幸SP8000G能成功解决TGV改质无法被看到的问题，并获得业界指针性激光改质设备商海纳光电、玻璃芯衬底制造商晶呈科技，以及TGV玻璃衬底技术领导厂商欣兴电子的共同肯定。除了激光改质检测，SP8000G亦能非破坏性地精准检测TGV蚀刻孔腰身位置、孔壁粗糙度与镀铜孔壁玻璃裂纹，皆为目前TGV业界难以找到的检测解方。相信以SpiroxLTS技术，能大幅加速推动TGV市场量产时程。”杨燿州进一步指出，SpiroxLTS已优先导入玻璃芯与中介层等高频高速封装应用，支持材料评估、制程导入与量产监控，将成为TGV工艺量产的重要推动力。

关于蔚华科技

蔚华科技（股票代码：3055）是大中华地区测试、封装、检测、验证的专业品牌，为半导体与电子制造产业提供完整解决方案，旗下代理与自有品牌横跨封测、光学、激光与材料检测多领域，致力于提供前瞻技术与高附加价值服务。蔚华科技成立于1987年，总部设于新竹，并于上海、苏州、深圳设有营运与服务据点，更多信息请参阅www.spirox.com。

关于海纳光电

海纳光电股份有限公司专注于激光精密微加工技术与设备开发，擅长处理半导体与光电产业常用的硬脆材料，包括硅、碳化硅、氮化硅、陶瓷、氧化锆、光学玻璃、蓝宝石、钻石及特殊金属，提供微米级精细切割、微孔加工与微结构制程。服务涵盖半导体、光电、AR/VR、汽车及医疗等产业。除深耕台湾地区高科技市场外，海纳激光系统亦营销至英、美、日等国际大厂，并提供特约代工与技术开发服务。更多信息请参阅www.hinanomms.com。

关于晶呈科技

晶呈科技为国内极少数掌握高厚度玻璃衬底激光改质核心技术之企业，专注于玻璃芯产品的开发与量产，自创LADY（Laser Arrow Decomposition Yield）制程，具备高厚度玻璃的激光改质、蚀刻与后段清洗整合能力，达成玻璃钻孔真圆、准直、孔壁平坦、均一及高密度规格要求，能依应用需求客制化改质结构与孔径设计。晶呈在TGV制程中扮演中游关键角色，为整体供应链提供稳定且高质量的玻璃基材与制程支持，协助客户加速先进封装导入。更多信息请参阅www.ingenteccorp.com。

关于欣兴电子

欣兴电子为台湾首批导入TGV（Through Glass Via）玻璃衬底技术的领导厂商，已投入研发逾十年。初期将采用日韩玻璃供货商完成激光改质与钻孔，预计自家产线于2025年下半年成熟，并结合既有ABF制程进行载板制造。预期2028年起进入垂直整合量产阶段，为高阶封装发展奠定关键基础。更多信息请参阅www.unimicron.com。

在电动车和再生能源应用需求的驱动下，功率半导体组件市场呈现快速成长的趋势。相较于传统IGBT硅芯片，碳化硅在高温高压的环境下能有更高效率及更少损耗的表现，虽然硅芯片在半导体产业中仍占据主导地位，但已有越来越多的高效能产品逐渐转向采用第三代半导体等宽禁带材料作为芯片设计架构的基础，依EETimes Asia预估，2026年碳化硅电源组件中的车用电子市场将成长至近40亿美元。

随着功率半导体的材料发展，车用电子验证规范也制定新的标准，ECPE AQG 324也因此成为进入车用电子市场的重要门票。目前全球仅有艾默生/NI旗下SET的德国实验室可提供完整碳化硅电源组件的质量验证，蔚华科技与艾默生/NI瞄准市场商机，携手在台湾新竹共同建置亚太地区首座功率半导体动态可靠度验证实验室，协助亚太客户进行车用功率半导体的先期动态可靠度验证服务，可加速客户的产品研发时程。

蔚华科技总经理杨燿州表示，功率半导体的应用市场庞大，亚太地区为半导体生产制造重心，需求将远超过全球其他区域。蔚华科技自2019年起与艾默生/NI合作经销STS测试系统，此次扩大结盟，由艾默生/NI协助指导将德国实验室的验证技术转移至亚洲，蔚华除了负责营运功率半导体动态可靠度验证实验室，为亚太地区碳化硅车用模块客户提供新产品开发期验证服务之外，同时也将继续肩负艾默生/NI重要经销伙伴的角色，在两岸推广艾默生/NI的功率半导体可靠度测试设备，提供DGS/动态HTGB、动态H3TRB/DRB、IOL 与功率循环三大测试系统的销售，依客户需求提供验证及设备的完整解决方案，为客户提供更实时、专业、可靠的售后服务。

恩艾（艾默生/NI）亚太区副总裁苏利发（Joseph Soo）表示，艾默生/NI致力于提供高弹性的测试解决方案，协助客户生产满足安全标准的产品。此次与蔚华合作建置亚太地区首座功率半导体动态可靠度验证实验室，负责协助将德国实验室的验证技术转移至亚洲，可加速亚太地区客户的产品研发时程，辅以蔚华在两岸半导体业的客户关系与专业工程团队，期望能对亚太地区的功率半导体技术发展提供助力。

关于蔚华科技

蔚华科技（股票代码：3055）是大中华地区半导体封测解决方案专业品牌，拥有先进的全方位解决方案及产品，提供半导体各个制程与不同产品的测试、封装、检测、验证等设备销售、应用工程与客户服务需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, TASMIT, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半导体设备领导品牌。蔚华集团以专业分工，提供半导体、电子制造、通信及车用电子等科技产业高质量的整合解决方案。蔚华科技成立于1987年，总部位于台湾新竹，于上海、苏州、深圳皆有服务据点。更多信息请浏览公司官网 www.spirox.com。

关于NI （现为艾默生旗下一员）

恩艾（NI）正在改变工程师和科学家构建测试、控制和嵌入式设计应用系统的方式。透过使用艾默生/NI的图形化程序软件和模块化硬件平台，半导体设备的设计者和制造商可以在验证实验室和生产车间中提升测试质量和效率，从而缩短上市时间、提高生产力，并显著降低测试成本。更多信息请浏览公司官网 www.ni.com 。

需求迅速爆发 SiC衬底与组件供不应求 唯KOH是高成本痛点

在现今环境永续意识抬头的全球趋势下，许多国家已制定电动车的阶段性政策目标，SiC芯片需求迅速爆发，尤其用于生产电动汽车使用的耐高温高压SiC功率半导体组件，供给量远远不及需求。

第三代半导体的衬底材料质量决定下游芯片的可靠度及性能优劣，但SiC长晶速度较慢，且衬底晶体缺陷只能以破坏性的KOH蚀刻方式进行抽样检测，使得SiC芯片制程成本居高不下，目前全球主要衬底厂皆积极投资产能扩充并改善制程，加速产业布局以抢攻市占率。衬底厂与组件厂若能在制程中对材料做全面非破坏性检测，不仅可减少原本KOH蚀刻的有害化学溶液使用量，更能及早发现问题，进而有效改善制程、提升良率，进而在第三代半导体市场中展现绝佳优势。

JadeSiC-NK以非线性光学检测取代现行破坏性KOH蚀刻 可降低成本提高产能  

南方科技总经理王嘉业表示，目前市场上的光学技术只能检测表面非晶体缺陷，JadeSiC-NK系统采用先进的非线性光学技术，可对全片衬底表面到特定深度进行扫描，反应晶体结构信息，提供晶体缺陷密度及其分布状况，让客户有效掌握衬底质量，未来生产出的组件质量与效能也能更加稳定。

王嘉业进一步说明，JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统专注在稳定且有效地找出衬底中的致命性晶体缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相较现行将SiC晶锭切片后取上下二片衬底进行检测的KOH蚀刻方式，可大幅节省检测时间与衬底成本。以每个长晶炉每月产出四个晶锭为例，采用JadeSiC-NK后，每个晶锭可省下二片衬底成本（每片6寸衬底以800美元计），因此可推估一个长晶炉每年可省下人民币56万元，若是具有100个长晶炉的衬底厂，一年即可省下人民币5600万元！此外，JadeSiC-NK也可针对同一个晶锭进行100%的晶圆检查，进行详细的晶锭分析和批次追踨分析，协助客户在高技术门槛的第三代半导体市场加速制程及产量优化。

阳明交通大学光电工程学系讲座教授郭浩中表示，蔚华与南方科技推出的JadeSiC-NK系统，将非线性光学技术应用在第三代半导体的检测分析，有助突破目前业界在量产及制程改善的技术瓶颈，对于产业链发展提供极大推力，期盼此系统能以更有效更稳定的检测方法，建立业界SiC衬底检测标准，成为产业界非线性光学技术的领航品牌，引领市场应用持续创新及突破。

从设备代理到自有产品 跨足光学检测领域 蔚华科技前景可期  

蔚华科技总经理杨燿州表示，考虑经销代理的不稳定性及追求更好的获利结构，蔚华不断加强投资自有产品开发以求推出更贴近客户需求的解决方案，此次透过并购南方科技，加速自有产品的发展进程，让蔚华从半导体封测设备跨足光学检测，首先锁定极具前景的第三代半导体材料缺陷检测，对客户、员工及投资人来说都将是非常振奋人心的新局。

杨燿州进一步指出，蔚华与南方科技自经销合作以来就秉持共同成长、互相成就的初心，成立先进光学材料检测实验室让独特的光学检测技术更快进入业界应用，透过客户的反复验证，进而调整产品规格以满足客户需求。除了将非线性光学技术应用在本次推出的JadeSiC-NK外，未来也将加速将南方科技在MicroLED、超颖材料、硅光子等先进光学检测技术的商业化，持续加大研发能量有效整合集团资源，发挥综效。

光电科技工业协进会董事长邰中和则表示，非常乐见两家台湾企业透过互补双赢的结合产生综效，更为产业创造巨大价值。蔚华与南方科技推出的JadeSiC-NK系统是极具指针性的技术突破，不但对全球第三代半导体业来说是可以大幅降低成本并增加产能的革命性产品，更能让全球看见蔚华与南方科技在光学领域的技术实力，在未来蓬勃发展的第三代半导体市场扮演关键角色。

关于蔚华科技

蔚华科技（股票代码：3055）是大中华地区半导体封测解决方案专业品牌，拥有先进的全方位解决方案及产品，提供半导体各个制程与不同产品的测试、封装、检测、验证等设备销售、应用工程与客户服务需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, Southport, TASMIT, TESCAN, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半导体设备领导品牌。蔚华集团以专业分工，提供半导体、电子制造、通讯及车用电子等科技产业高质量的整合解决方案。蔚华科技成立于1987年，总部位于台湾新竹，于上海、苏州、深圳、成都、高雄皆有服务据点。更多讯息请浏览公司官网 www.spirox.com。

关于南方科技

南方科技成立于2014年8月，创办团队集合了光学、材料、物理、信息等跨领域人才，将新颖的光学设计观念导入光学工程领域。透过先进光学简单化、模块化、数字化的核心理念（光学模块化、数字化、软件化的核心理念，让艰深的光学运用更为友善及简单），使研究人员专注在研究开发工作，改善实验设计观念、提升研究效率、缩短研发时程、挥洒研发创意，加速研究与产业技术发展的进程。南方科技以『5D显微术』与『数字光学』两大核心技术为基础，将崭新的光学观念与技术导入先进材料分析、生医影像、显微3D光学检测与数字光学应用四大应用领域。在不同的应用领域，南方致力于研发与创新，深入了解行业痛点并且专注解决关键问题。更多讯息请浏览公司官网 www.southport.com.tw。